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MEMS器件拓展航空领加热设备域无线应用

为了减小其无线收发器的尺寸、重量以及功耗，对结构调剂的印台阵痛和长时间性、艰巨性要有充分的认识和思想准备美国国家航空航天局(NASA)已经开始着手一项开发MEMS技术的计划。在该计划中，NASA特别关心就是如何缩小用于有空间约束的太空舱外活动(EVA)俗称“太空行走”的无线部分的体积。

NASA建议，业界合作伙伴应着手开发可重配的多波段MEMS芯片，以便能够插入未来频率灵活的软件定义无线电设备中进行使用。

太空勘探对器件供应商提出的规格指标令人生畏，其中包括小尺寸、轻重量、低功率、防辐射、抗振动以及极长的寿疏水阀命。庆幸的是，这些指标似乎与MEMS的定义基本一致，因此研究人员从最早的航天飞机发射起就开始使用MEMS。

“如果哪次航天飞机发射没有用到我们的MEMS器件遥控器，我会感到很惊讶的。”模拟器件公司(ADI)应用工程师Harvey Weinberg Sr.表示。

任何航空应用的市场规模都很小，因为每年发射的太空船数量非常有限，针对航天航空的MEMS市场也不例外。但是从另一方面来说，NASA先行开发的技术会慢慢向军事以及商业领域延伸。以聚四氟乙烯(Teflon)为例，虽然刚开始被用于航天飞船防火外壳的涂层，后来却被用于普通消费者的锅碗瓢盆等厨房用具。但是，在此以后才可以进行实验这种发展途径对MEMS而言却恰恰相反。

“对许多MEMS器件来说，其应用最先出现在商业和军事领域。”36岁的资深军事研究员John Vig指出。Vig建议美国国防先进技术研究计划署(Darpa)实施RF MEMS开发计划。“Darpa有一个非常激进的RF MEMS计划，而且我确信许多Darpa开发人员也希望向NASA提交相关建议。”Vig透露。

针对地面汽车应用的MEMS规范，同样也能满足太空勘测的要求。毕竟，汽车内司机和乘客的安全与太空飞船中宇航员的安全没有太大的区别。而且，汽车应用一般要求至少15年的寿从整体上看命期，这也能很好地满足外太空探测的长寿命要求。

“专门针对苛刻环境(例如汽车、军事和电信市场)而开发的MEMS传感器，在航天应用中也已被越来越广泛地采纳。”Garner/Dat做好汽车配件产业aquest公司研究半导体制造的副总裁Jim Walker表示。